真空ポンプ

 

真空ポンプ


真空状態の特徴とは

空気を吸いだし真空状態を作り出すことは、機械工業や食品の製造など多くの分野で利用されています。JISの規定による真空状態とは、その空間の気圧が大気圧より低くなっている状態です。大気圧は人間自身にもかかっており、立っていても寝ていても、空気中では常に圧力がかかっている状態です。基準のひとつとされているのが海面上での強さです。これが1気圧であり約1013hPaに相当します。真空とはこの圧力が低い状態を指しており、圧力自体ではありません。
人工的に低い圧力の状態を作り出すのが真空ポンプですが、さまざまな効果が出てきます。使い方として、空気を弾きだし圧力を下げるため、当然酸素量が減ります。酸素量が減ると物質が酸化反応下がるため、物質が変化しにくくなり、維持しやすくなるのが特徴です。
音は空気に伝わる振動のため、空気が減っている低圧状態では、音が聞こえなくなります。この性質を利用して、振動を受けにくい状況を作り出すことが可能です。
気体としての分子数も減少するため、電気が通りにくくなります。絶縁状態を作り出すことができるため、電気に弱いものなどに対して影響を抑えられる状態となります。
真空状態では熱が逃げにくくなるという特徴もあります。気体分子が少なく分子同士の衝突がなくなるため、暖かいものも冷めにくくなります。同時に沸点も下がります。沸点が下がれば、沸騰するのが早くなり、水分を低い温度のまま蒸発させることができます。水が含まれている物質が分離しやすい環境と言えます。このような真空状態の特徴を活かすことで、たくさんの技術が進化を遂げているのです。

真空ポンプ中古計測機器一覧

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4u7235 真空ポンプ(直結型油回転真空ポンプ) PS-07 ヤマト科学(アルバック) お問合せ下さい
4u7218 真空ポンプ(ロータポンプ) MSV-100-30R 三津海製作所 お問合せ下さい
5v4989 真空ポンプRA0063用スペアパーツエキゾーストバルブ 916126769 BUSCH ブッシュ お問合せ下さい
4u7168 ドライ真空ポンプ SDL60K-HaM 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
4u7046 ドライ真空ポンプ KTS060 宇野澤 お問合せ下さい
4u7029 ドライ真空ポンプ KRF15A-V-01A オリオン機械 ORION お問合せ下さい
3t1413 小型空冷ドライ真空ポンプ NeoDry 15EU-015C 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
3t1153 ドライスクロール真空ポンプ ISP-50 ANEST IWATA アネスト岩田 お問合せ下さい
3t1147 真空乾燥器+油回転真空ポンプ AVO-200NS-D+PD53 アズワン/ETTAS お問合せ下さい
3t1145 フリーズドライヤー(チャンバー+真空ポンプ付) FDU-12AS アンリツ Anritsu お問合せ下さい
5b0751 真空ポンプ K48ZZGML4454 トーマス お問合せ下さい
6g0071 ダイヤフラムポンプ 真空ポンプ ME 8SI VACUUBRAND お問合せ下さい
4c0955 水封式真空ポンプ(チラー付) LEH50MS 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
4u6825 ロータリー真空ポンプ RPV062-60S100-12-32 日本ピスコ お問合せ下さい
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3t0889 実験用ロータリー真空ポンプ Duo6M Pfeiffer お問合せ下さい
5a0582 ドライ バキューム ポンプ RD90U-008 KASHIYAMA お問合せ下さい
5a0543 クライオポンプ V204SC608FH DAIKIN お問合せ下さい
5a0483 クライオポンプ A200-AS3N SUZUKI SHOKAN お問合せ下さい
4u6792 ロータリー真空ポンプ E2M40FF EDWARDS エドワーズ お問合せ下さい
5x0599 ドライ真空ポンプ SDL25K-DM017A 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
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5x0561 ダイアフラム真空ポンプ DIVAC1.2L ライボルト Leybold お問合せ下さい
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5x0433 ドライ真空ポンプ GX-100L EDWARDS エドワーズ お問合せ下さい
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4u6707 ロータリー真空ポンプ 2005I アルカテル Alcatel お問合せ下さい
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6f0081 真空ポンプ 32NVD52.2B 荏原製作所 Ebara お問合せ下さい
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4u6613 ドライ真空ポンプ ACP28 アルカテル Alcatel お問合せ下さい
3t0782 小型空冷ドライ真空ポンプ NeoDry36E 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
3t0781 小型空冷ドライ真空ポンプ NeoDry15E 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
4u6406 ロータリー真空ポンプ VR16 日立 HITACHI お問合せ下さい
5h0311 真空ポンプ DA-60D アルバック Ulvac お問合せ下さい
5v3167 真空ポンプ DA-69S アルバック Ulvac お問合せ下さい
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5v3164 ダイフラム型ドライ真空ポンプ DA-120S_100V アルバック Ulvac お問合せ下さい
5v3163 ダイフラム型ドライ真空ポンプ DA-60S_100V アルバック Ulvac お問合せ下さい
4g1725 真空ポンプ その他 GGT-1 アルバック Ulvac お問合せ下さい
4b3962 真空ポンプ ロータリーベーン式ドライポンプ オイルフリー VT4.40 BECKER お問合せ下さい
4b3922 油回転式真空ポンプ ロータリーポンプ SV40BI Oerlikon leybold お問合せ下さい
4b3787 真空ポンプ 小型油回転真空ポンプ GLD-050 アルバック Ulvac お問合せ下さい
3r2520 真空ポンプ リニコン LV-125A 日東工器 お問合せ下さい
5k0228 ダイヤフラム型真空ポンプ NVP-1000(261800) 東京理化器械 Eyela お問合せ下さい
4b3427 ダイヤフラム型真空ポンプ MD1C バキューブランド お問合せ下さい
4b3174 油回転真空ポンプ 三相200V GVD-165A アルバック Ulvac お問合せ下さい
4a1859 ダイヤフラム式真空ポンプ N86KN.18 KFラボ お問合せ下さい
5b0576 ダイアフラム式真空ポンプ MD4C NT バキューブランド お問合せ下さい
5b0559 真空デシケーター+真空ポンプ MVD-300+DTU-20 ASONE アズワン お問合せ下さい
5b0509 冷却トラップ装置+小型油回転真空ポンプ UT-1000+GCD-136X 東京理化器械 Eyela お問合せ下さい
5b0494 Vacuum Pump V-710 ビュッヒ BUCHI お問合せ下さい
5v2666 封止真空ポンプ DA-241S (排気速度260L/MIN ) アルバック Ulvac お問合せ下さい
5v2605 真空ポンプシステム ZX100-K15LZ-F エスエムシー SMC お問合せ下さい
5v2604 真空ポンプ DA-60S (排気速度72L/MIN ) アルバック Ulvac お問合せ下さい
5v2603 真空ポンプ DA-30D(100V) アルバック Ulvac お問合せ下さい
5v2602 真空ポンプ DOP-100T アルバック Ulvac お問合せ下さい
5v2461 バキュームポンプ MON0656U リニアガイド アルバック Ulvac お問合せ下さい
5v2460 ドライ真空ポンプ NEO DRY36U-007 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
5v2407 ドライバキュームポンプ SDL70K-L2L2009A 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
5v2406 ドライバキュームポンプ SDL70K-L2L2007A 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
5v2405 ドライバキュームポンプ SDE40K-EF003A 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
5v2404 ドライバキュームポンプ SDE40K-EF002A 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
5v2403 ドライバキュームポンプ MU100N-30 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
5v2305 VACUUM PUMPING UNIT SDL80K-LZC001 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
5v2304 Vacuum Pumping Unit SDK-60K-Ha2Ea2016 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
5v2303 VACUUM PUMPING UNIT SDE60K-HE029 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
5v2302 Vacuum Pumping Unit SDE60K-Ha2Ea2016 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
5v2301 VACUUM PUMPING UNIT SDE603A-BP-001 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
5v2300 Vacuum Pumping Unit SDC60K-Ha2Ea2016 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
5v2155 DRY PUMP SDE70K 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
5v2153 DRY VACUUM PUMP SDL70K-LL 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
5v2152 DRY VACUUM PUMP SDE300C-002 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
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5v2149 DRY VACUUM PUMP NEODRY36EU-029C 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
5v2148 DRY VACUUM PUMP NEODRY36EU-007C 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
5r0659 真空ポンプ G-101S アルバック Ulvac お問合せ下さい
5b0475 真空ポンプ PD-202 ヤマト科学 Yamato お問合せ下さい
5b0473 真空ポンプ VR16L 日立 HITACHI(日立製作所) お問合せ下さい
4a1807 ダイヤフラム真空ポンプ N920KT.29.18 knf お問合せ下さい
4u5351 真空ポンプ(ロータリー) DRP-360IIIV 芝浦 お問合せ下さい
4u5158 ロータリー真空ポンプ G-15 アルバック Ulvac お問合せ下さい
4u5157 真空ポンプ 750D 藤原 お問合せ下さい
4u5156 真空ポンプ OLF750Z-2 お問合せ下さい
4u5155 ダイアフラム真空ポンプ DA-12S アルバック Ulvac お問合せ下さい
4u5154 真空ポンプ OLF550-4 お問合せ下さい
4u5048 真空ポンプ制御ユニット ORE60 ヤマト科学 Yamato お問合せ下さい
4u5045 真空ポンプ MH-100(LV-125) 日東工器 お問合せ下さい
3e2703 ロータリー真空ポンプ(油回転) RV5+A653-01-903 EDWARDS エドワーズ お問合せ下さい
4u4913 ドライ真空ポンプ KRF15A-V-02 オリオン機械 ORION お問合せ下さい
4u4869 ロータリー真空ポンプ 2015I アルカテル Alcatel お問合せ下さい
4s0967 小型真空ポンプ FV-30 フロロメカニック お問合せ下さい
4u4862 ドライ真空ポンプ NeoDry60E-3 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
5t0734 油回転真空ポンプ(耐食性直結型) 165.5×419×222.7mm GCD-051X お問合せ下さい
5t0732 油回転真空ポンプ スーパーデラックスタイプ GLD-137CC お問合せ下さい
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5b0253 ドライ真空ポンプ-0.08MPa GM-20S ASONE アズワン お問合せ下さい
4u4804 ドライ真空ポンプ V040S-NT キャノンアネルバテクニクス お問合せ下さい
4u4795 ドライ真空ポンプ SD90VIIIUー378-50 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
3p0462 真空ポンプ LV-435A Linicon お問合せ下さい
5i0007 油回転真空ポンプ(耐食性直結型) GCD-051Xシリーズ アルバック Ulvac お問合せ下さい
5g0100 真空ポンプ V-500 ビュッヒ BUCHI お問合せ下さい
5g0096 真空ポンプ USW-150N 佐藤真空(HITACHI) お問合せ下さい
3z1556 油回転真空ポンプ GLD-051 アルバック Ulvac お問合せ下さい
4u0782 ロータリー真空ポンプ GCD-136X アルバック Ulvac お問合せ下さい
4u0573 ロータリー真空ポンプ 2063C2 アルカテル Alcatel お問合せ下さい
4u0572 ロータリー真空ポンプ 2063C1 アルカテル Alcatel お問合せ下さい
3e2572 リニコン真空ポンプ LV-435A-V1035-A1-0001 日東工器 お問合せ下さい
4h0276 真空ポンプ 350/KRC901 樫山工業 Kashiyama お問合せ下さい
4h0275 真空ポンプ GDE-100 島津製作所 SHIMAZU SHIMADZU お問合せ下さい
4h0273 真空ポンプ EDM20A EDWARDS エドワーズ お問合せ下さい
4i0701 真空ポンプ VR16L-K型 日立 HITACHI お問合せ下さい
4i0552 真空ポンプ 4KV-3N 大阪空気機械 お問合せ下さい
4i0141 真空ポンプ KCS-61-0121 オリオン機械 ORION お問合せ下さい
4b0863 ロータリーポンプ 真空ポンプ 50Hz 60Hz E1M18/A343-24-904 EMF20 EDWARDS エドワーズ お問合せ下さい
3u9689 真空ポンプ(ロータリー) TSW-500 佐藤真空 お問合せ下さい
3u9628 真空ポンプ(ロータリー) RV3 EDWARDS エドワーズ お問合せ下さい
3u9486 真空ポンプ(ロータリー) GLD-136B アルバック Ulvac お問合せ下さい
3u9482 真空ポンプ(ロータリー) G-20D アルバック Ulvac お問合せ下さい
3u9449 真空ポンプ(ダイアフラム) DTC-120 アルバック Ulvac お問合せ下さい
3u9443 真空ポンプ(ダイアフラム) DA-241SE アルバック Ulvac お問合せ下さい
3u9190 真空ポンプ(オイルレスピストン) OSP-90W 富士医療測器 お問合せ下さい
3u9189 真空ポンプセット HiCube80Eco ファイファー PFEIFFER お問合せ下さい
3u8906 真空ポンプ(ロータリー) G-20DA アルバック Ulvac お問合せ下さい
3u9020 真空ポンプ(スクロール) XDS5 EDWARDS エドワーズ お問合せ下さい
3u9017 真空ポンプ(ロータリー) G-50DA アルバック Ulvac お問合せ下さい
3u9312 真空ポンプ(ロータリー) AVRD-120 ASONE アズワン お問合せ下さい
3u9351 ドライ真空ポンプ KRF70-VH-01B-112 オリオン機械 ORION お問合せ下さい
3e2525 真空ポンプ TSW-150 佐藤真空 お問合せ下さい
3e2511 PTFEダイアフラム真空ポンプ V-700 ビュッヒ BUCHI お問合せ下さい
4a0696 ダイヤフラム型真空ポンプ 1.2L DIVAC お問合せ下さい
3e2395 真空デシケータ(コンセント付) VM-C型 ASONE アズワン お問合せ下さい
3u7528 真空ポンプ VTN15 (02) ガードナーデンバー お問合せ下さい
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販売価格
4u7235真空ポンプ(直結型油回転真空ポンプ)PS-07
ヤマト科学(アルバック)
4u7218真空ポンプ(ロータポンプ)MSV-100-30R
三津海製作所
5v4989真空ポンプRA0063用スペアパーツエキゾーストバルブ916126769
BUSCH ブッシュ
4u7168ドライ真空ポンプSDL60K-HaM
樫山工業 Kashiyama
4u7046ドライ真空ポンプKTS060
宇野澤
4u7029ドライ真空ポンプKRF15A-V-01A
オリオン機械 ORION
3t1413小型空冷ドライ真空ポンプNeoDry 15EU-015C
樫山工業 Kashiyama
3t1153ドライスクロール真空ポンプISP-50
ANEST IWATA アネスト岩田
3t1147真空乾燥器+油回転真空ポンプAVO-200NS-D+PD53
アズワン/ETTAS
3t1145フリーズドライヤー(チャンバー+真空ポンプ付)FDU-12AS
アンリツ Anritsu
5b0751真空ポンプK48ZZGML4454
トーマス
6g0071ダイヤフラムポンプ 真空ポンプME 8SI
VACUUBRAND
4c0955水封式真空ポンプ(チラー付)LEH50MS
樫山工業 Kashiyama
4u6825ロータリー真空ポンプRPV062-60S100-12-32
日本ピスコ
4u6824ロータリー真空ポンプRPV062-60S100SW-12-32
日本ピスコ
3t0889実験用ロータリー真空ポンプDuo6M
Pfeiffer
5a0582ドライ バキューム ポンプRD90U-008
KASHIYAMA
5a0543クライオポンプV204SC608FH
DAIKIN
5a0483クライオポンプA200-AS3N
SUZUKI SHOKAN
4u6792ロータリー真空ポンプE2M40FF
EDWARDS エドワーズ
5x0599ドライ真空ポンプSDL25K-DM017A
樫山工業 Kashiyama
5x0593ドライ真空ポンプHC06B
樫山工業 Kashiyama
5x0561ダイアフラム真空ポンプDIVAC1.2L
ライボルト Leybold
5x0500ロータリーポンプ (油回転式真空ポンプ)HS602
バリアン VARIAN
5x0433ドライ真空ポンプGX-100L
EDWARDS エドワーズ
5x0301ロータリーポンプ (油回転式真空ポンプ)DS402
アジレントテクノロジ
4u6707ロータリー真空ポンプ2005I
アルカテル Alcatel
6f0260真空ポンプ32LVSD5F-22ZEM1
NIKUNI ニクニ
6f0249真空ポンプRA0063.E503.1003
BOSCH ボッシュ
6f0217真空ポンプRA 0100 E 503 1002
BUSCH ブッシュ
6f0212水封式真空ポンプSW-50S
神港精機
6f0196水封式真空ポンプSW-150S
神港精機
6f0186水封式真空ポンプOP-W100NⅡ
大阪空気機械製作所
6f0182真空ポンプKRF25A-V-01B-150
オリオン機械 ORION
6f0162真空ポンプRA0016B
BUSCH ブッシュ
6f0158水封式真空ポンプSW-100Ⅱ S
神港精機
6f0157水封式真空ポンプOP-W250N
大阪空気機械製作所
6f0156真空ポンプ80L/4X
BECKER
6f0137真空ポンプRA 0160 D 5Z3 XXZZ
BUSCH ブッシュ
6f0133液封式真空ポンプ50LVSD5-55ZEM
NIKUNI ニクニ
6f0103水封式真空ポンプSKH282
NIKUNI ニクニ
6f0081真空ポンプ32NVD52.2B
荏原製作所 Ebara
6f0021真空ポンプGHD-101A
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6f0020真空ポンプSDL40E60-006
樫山工業 Kashiyama
4u6613ドライ真空ポンプACP28
アルカテル Alcatel
3t0782小型空冷ドライ真空ポンプNeoDry36E
樫山工業 Kashiyama
3t0781小型空冷ドライ真空ポンプNeoDry15E
樫山工業 Kashiyama
4u6406ロータリー真空ポンプVR16
日立 HITACHI
5h0311真空ポンプDA-60D
アルバック Ulvac
5v3167真空ポンプDA-69S
アルバック Ulvac
5v3166クライオポンプCAP-121
アネルバ ANELVA
5v3165ドライ真空ポンプDA-241S_100V
アルバック Ulvac
5v3164ダイフラム型ドライ真空ポンプDA-120S_100V
アルバック Ulvac
5v3163ダイフラム型ドライ真空ポンプDA-60S_100V
アルバック Ulvac
4g1725真空ポンプ その他GGT-1
アルバック Ulvac
4b3962真空ポンプ ロータリーベーン式ドライポンプ オイルフリーVT4.40
BECKER
4b3922油回転式真空ポンプ ロータリーポンプSV40BI
Oerlikon leybold
4b3787真空ポンプ 小型油回転真空ポンプGLD-050
アルバック Ulvac
3r2520真空ポンプ リニコンLV-125A
日東工器
5k0228ダイヤフラム型真空ポンプNVP-1000(261800)
東京理化器械 Eyela
4b3427ダイヤフラム型真空ポンプMD1C
バキューブランド
4b3174油回転真空ポンプ 三相200VGVD-165A
アルバック Ulvac
4a1859ダイヤフラム式真空ポンプN86KN.18
KFラボ
5b0576ダイアフラム式真空ポンプMD4C NT
バキューブランド
5b0559真空デシケーター+真空ポンプMVD-300+DTU-20
ASONE アズワン
5b0509冷却トラップ装置+小型油回転真空ポンプUT-1000+GCD-136X
東京理化器械 Eyela
5b0494Vacuum PumpV-710
ビュッヒ BUCHI
5v2666封止真空ポンプDA-241S (排気速度260L/MIN )
アルバック Ulvac
5v2605真空ポンプシステムZX100-K15LZ-F
エスエムシー SMC
5v2604真空ポンプDA-60S (排気速度72L/MIN )
アルバック Ulvac
5v2603真空ポンプDA-30D(100V)
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5v2602真空ポンプDOP-100T
アルバック Ulvac
5v2461バキュームポンプMON0656U リニアガイド
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5v2305VACUUM PUMPING UNITSDL80K-LZC001
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5v2304Vacuum Pumping UnitSDK-60K-Ha2Ea2016
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5v2303VACUUM PUMPING UNITSDE60K-HE029
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5v2302Vacuum Pumping UnitSDE60K-Ha2Ea2016
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5v2301VACUUM PUMPING UNITSDE603A-BP-001
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5v2300Vacuum Pumping UnitSDC60K-Ha2Ea2016
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5r0659真空ポンプG-101S
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5b0475真空ポンプPD-202
ヤマト科学 Yamato
5b0473真空ポンプVR16L
日立 HITACHI(日立製作所)
4a1807ダイヤフラム真空ポンプN920KT.29.18
knf
4u5351真空ポンプ(ロータリー)DRP-360IIIV
芝浦
4u5158ロータリー真空ポンプG-15
アルバック Ulvac
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4u5156真空ポンプOLF750Z-2
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ヤマト科学 Yamato
4u5045真空ポンプMH-100(LV-125)
日東工器
3e2703ロータリー真空ポンプ(油回転)RV5+A653-01-903
EDWARDS エドワーズ
4u4913ドライ真空ポンプKRF15A-V-02
オリオン機械 ORION
4u4869ロータリー真空ポンプ2015I
アルカテル Alcatel
4s0967小型真空ポンプFV-30
フロロメカニック
4u4862ドライ真空ポンプNeoDry60E-3
樫山工業 Kashiyama
5t0734油回転真空ポンプ(耐食性直結型) 165.5×419×222.7mmGCD-051X
5t0732油回転真空ポンプ スーパーデラックスタイプGLD-137CC
5t0210ドライ真空ポンプセット 真空定温乾燥器用NeoDry7E
5b0253ドライ真空ポンプ-0.08MPaGM-20S
ASONE アズワン
4u4804ドライ真空ポンプV040S-NT
キャノンアネルバテクニクス
4u4795ドライ真空ポンプSD90VIIIUー378-50
樫山工業 Kashiyama
3p0462真空ポンプLV-435A
Linicon
5i0007油回転真空ポンプ(耐食性直結型)GCD-051Xシリーズ
アルバック Ulvac
5g0100真空ポンプV-500
ビュッヒ BUCHI
5g0096真空ポンプUSW-150N
佐藤真空(HITACHI)
3z1556油回転真空ポンプGLD-051
アルバック Ulvac
4u0782ロータリー真空ポンプGCD-136X
アルバック Ulvac
4u0573ロータリー真空ポンプ2063C2
アルカテル Alcatel
4u0572ロータリー真空ポンプ2063C1
アルカテル Alcatel
3e2572リニコン真空ポンプLV-435A-V1035-A1-0001
日東工器
4h0276真空ポンプ350/KRC901
樫山工業 Kashiyama
4h0275真空ポンプGDE-100
島津製作所 SHIMAZU SHIMADZU
4h0273真空ポンプEDM20A
EDWARDS エドワーズ
4i0701真空ポンプVR16L-K型
日立 HITACHI
4i0552真空ポンプ4KV-3N
大阪空気機械
4i0141真空ポンプKCS-61-0121
オリオン機械 ORION
4b0863ロータリーポンプ 真空ポンプ 50Hz 60HzE1M18/A343-24-904 EMF20
EDWARDS エドワーズ
3u9689真空ポンプ(ロータリー)TSW-500
佐藤真空
3u9628真空ポンプ(ロータリー)RV3
EDWARDS エドワーズ
3u9486真空ポンプ(ロータリー)GLD-136B
アルバック Ulvac
3u9482真空ポンプ(ロータリー)G-20D
アルバック Ulvac
3u9449真空ポンプ(ダイアフラム)DTC-120
アルバック Ulvac
3u9443真空ポンプ(ダイアフラム)DA-241SE
アルバック Ulvac
3u9190真空ポンプ(オイルレスピストン)OSP-90W
富士医療測器
3u9189真空ポンプセットHiCube80Eco
ファイファー PFEIFFER
3u8906真空ポンプ(ロータリー)G-20DA
アルバック Ulvac
3u9020真空ポンプ(スクロール)XDS5
EDWARDS エドワーズ
3u9017真空ポンプ(ロータリー)G-50DA
アルバック Ulvac
3u9312真空ポンプ(ロータリー)AVRD-120
ASONE アズワン
3u9351ドライ真空ポンプKRF70-VH-01B-112
オリオン機械 ORION
3e2525真空ポンプTSW-150
佐藤真空
3e2511PTFEダイアフラム真空ポンプV-700
ビュッヒ BUCHI
4a0696ダイヤフラム型真空ポンプ1.2L
DIVAC
3e2395真空デシケータ(コンセント付)VM-C型
ASONE アズワン
3u7528真空ポンプVTN15 (02)
ガードナーデンバー
3u7525真空ポンプVTE3
リーチェレ
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真空にできる方式の違い

真空の環境を作り出すための真空ポンプは種類がいくつか存在します。それぞれ構造が異なるため、使い方も違います。
さまざまな機種のベースとなっているのが、油回転真空ポンプです。1900年代初頭に開発された構造で、油の中をローターが回転するときに空気を吸いだし吐きだします。安価でコンパクトですが、取り扱いが複雑なのが欠点です。
ドライポンプは、その名前の通り液体を使っていない真空ポンプです。ケーシング内にローターを配置し、回転させて空気を吸いだしていきます。シールなどに油はありますが、ケーシング内に油などがない分だけ排気はクリーンです。
真空ポンプに組み合わせて使用するのが、メカニカルブースターポンプです。ポンプに組み合わせることで、排気速度が飛躍的に上昇します。効率化を進められますが逆流する可能性があるので、使用の際は注意を要します。
衛生面に特化したダイアフラム真空ポンプもあります。油や液体を使いませんので、油の蒸発などが発生しません。半導体などの産業で利用するのにぴったりの構造です。構造的にはシンプルで、ローターが回転して、ダイアフラム荷動きが伝わり、上下運動して空気を引き出し排出します。吸気と排気に弁があるため、逆流も抑えられる構造です。
高い圧力を生み出し、真空を作り出せるのがターボ分子ポンプです。いろいろな種類があるなかでも、極高真空を作り出せる能力を持ちます。タービン型の翼と固定翼を使った構造で、性能が上昇したことで高回転して空気の分子を吹き飛ばすのが特徴です。ただし、ある程度真空状態を作り出さなければいけないため、フォアポンプを取り付けが必要です。

真空ポンプの使い道

真空ポンプには、いろいろなものがありますが、使用目的によって適切なものを選ばなければいけません。使い方によっては、そのコストや性能が問題になる場合もあるからです。
空気を排出するという点では、吸引に使われます。吸引により物を移動させるという意味では、真空状態は便利です。大気との圧力差を生み出すのが真空のため、この圧力の差を利用すれば吸着させられます。例えば、ガラスを運ばなければいけない場合、衝撃に弱いため注意しなければいけません。真空ポンプで吸着させれば簡単に搬送できます。
空気を抜くというところで、シートなどを加熱して型にはめ込む際にも使えます。間にある空気が邪魔ですので、真空にしてあげれば型に密着します。この成型技術は、さまざまな容器に使われています。
空気を抜くときには、空間が空になるわけではありません。吸引させるのも同じ原理ですが、そこに液体を用いれば、小さな空間にも液体を引きこむことが可能です。粘性の高いものでも真空を活用すれば封入しやすくなります。
酸素の量が減るため、酸化防止させられるのは大きなメリットです。食品産業では保存性を高められますし、金属加工でも酸化させて劣化させることがなくなります。ドライフラワーなどにも活用されており、クリーニングした後の衣料の保存にも真空状態を活用できます。
真空は幅広い業界で利用価値があります。真空ポンプもその状態や目的に合わせて選択できれば、価値はさらに大きなものになるでしょう。

真空ポンプの計測機器で利用されている用途

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