イオンスパッター E-1030(3e2108)
・ロータリーポンプVR16-K+水冷式試料ステージ冷却ユニット+ワゴン 付 ・最大直径55mm ・最大高さ20mm ※詳しくは、お問合せください。日立 HITACHI(日立ハイテク)
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