真空 スパッタ装置(バッチ式カルーセル) SPC511C (3U6552)
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ターゲットサイズ:φ50、 ターゲット数:1 基板サイズ:3インチ 基板取付可能枚数:36 スパッタ用電源:DC電源 装置サイズ:W2700×D1400×H1730 クライオポンプ:アネルバ(CAP-120MarkⅡ) ロータリーポンプ:アルカテル(2063) アネルバ ANELVA
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