真空 ロードロック式スパッタ装置 (3U7954)
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ターゲットサイズ:φ300、ターゲット数:1 仕様ターゲット:Cr 、基板サイズ:6インチ 装置サイズ:W800×D1120×H1555パナソニックプロダクションエンジニアリング(Panasonic)
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