ロードロック式スパッタ装置 (3U7952)
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ターゲットサイズ:φ300mm 、ターゲット数:1 基板サイズ:8インチ、 基板取付可能枚数:1 スパッタ用電源:DC電源10kw 装置サイズ(本体部)W800D1120H1555
仕様ターゲット:Cr プロセスガス:Arパナソニックプロダクションエンジニアリング(Panasonic)
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