カルーセルスパッタ装置 SPC-540H (3U6553) 中古計測器

機材名称	カルーセルスパッタ装置
型番	SPC-540H
メーカー	アネルバ ANELVA
商品コード	3u6553
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　特長/仕様

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仕様(カタログより)

ターゲットサイズ:長方形約125mm×380mm ターゲット数:4
基板サイズ:四角約75mm×75mm
基板取付可能枚数:3枚×19面
スパッタ用電源:RF電源
基板加熱性能:ヒーター有
電源:3相200V 75A 60Hz
クライオコンプレッサー:CRC-874
クライオポンプCAP-121 水量本体2Kgf/cm25l/min カソード2Kgf/cm225l/min 空圧5Kgf/cm2
外寸W1700D1300H2300 質量1.2t
制御盤W600D1000H1850 RF電源:PRF-503×2個
PRF-504×2個外寸W570D700H1300
アネルバ ANELVA

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カルーセルスパッタ装置 SPC-540H (3U6553)

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