ターボ分子ポンプ排気装置 TS75D1002(3n0470)
T-station75D、ターボ分子ポンプ/ダイアフラム型ポンプ排気速度:42L/s&20L/min、到達圧力:5.0×10(-6)Paキヤノンアネルバ Canon ANELVA
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