ターボ分子ポンプ排気ユニット YTP300SAB(3n0468)
主排気ポンプ、主排気ポンプ:UTM300B(280L/min)、補助ポンプ:GLD202B(200L/min)、到達圧力:10(-6)Pa、排気口フランジ:UFC152アルバック Ulvac
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