ターボ分子ポンプ TMP-2203LM(0) (3U6975)
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排気速度:2000L/S, 到達圧力:10-8Pa,回転数:24600rpm, 重量59Kg ISO250B (ボルトフランジ:12穴) ターボフランジ径実機計測(335mm)島津製作所 SHIMAZU SHIMADZU
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