ターボ分子ポンプセット UTM2300FW/D1B (3U7269)
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ターボ分子ポンプ 排気速度(N2) 2730L/s 到達圧力到達圧力10 -7 回転数24600rpm 外寸 W420 D350 H375 重量10kg 電源AC200~240V 50/60Hz コントローラ FTI-2300W 外寸W210 D480 H150アルバック Ulvac
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