ターボ分子ポンプセット TG550 / TC550 (3U6900)
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油潤滑玉軸受タイプ 吸気口:VG150 排気口:NW40 排気速度:550L/S 回転数:24,000 到達圧力:1×10-7Pa オイル:NTL-F500 冷却:水冷式 重量:41Kg コントローラー電源:単相200V仕様 重量:9Kg 付属品:制御ケーブル大阪真空
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