ターボ分子ポンプセット(電源/ケーブル) TMP-2003LM(0) (3U6973)
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電源:EI-D2003M, 排気速度:2000L/S, 到達圧力:10-9Pa,回転数:27000rpm, 重量59Kg島津製作所 SHIMAZU SHIMADZU
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