ターボ分子ポンプ TMP3203LM-N1 (3U6981)
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排気速度 3200L/S (N2) 到達圧力 10-9Pa 回転速度 21000 r.p.m 冷却方式 水冷(流量 2~4L/min.) Arガス最大流量 1200mL/min. フランジ外径 φ450mm (VG350) 製品質量 70Kg 外寸 φ450 H420島津製作所 SHIMAZU SHIMADZU
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