超純水製造装置 RFU652EA(3n0058)
給水方式:水道直結、精製水:超純水・イオン交換水、最高純度:18.2MΩ・cm、TOC<10ppb、イオン交換水精製速度:3L/h、超純水採水速度:max2L/minアドバンテック ADVANTEC
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