ターボ分子ポンプ TG550VW (3U6902)
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1/3(本体 TG550VW フランジ外径 φ235mm (VG150)) 2/3(ターボ分子ポンプ用コントローラー TC553 200/220/230V 50/60Hz 容量 1.1kVA 外寸 W210 D420 H150) 3/3(ケーブル)大阪真空
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