ターボ分子ポンプ(本体のみ) TG50VA (3U6898)
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TMP(TG50VA):吸気口:VG65 排気口:NW25(排気ポート無) 到達圧力:3×10-6Pa 取付姿勢:自在(グリス潤滑軸受タイプ) 質量:4.2Kg 外寸:W150 D200 H165大阪真空
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