RF電源 0.5kw RFS-005 (3U5966)
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13.56MHZ 500W 入力 AC200V 単相 50/60HZ 4.5KVA 出力 500W C/W 2L/min. 2Kg/cm2 製品重量 20Kg W480 D375 H150アルバック Ulvac
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