RF電源セット RFS-05C (3U5967)
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入力:1.4KVA 出力:500W C/W 3L/min.(2Kg/cm2 gage) 電源:AC200V 単相 50/60HZ 【マッチングボックス】MBX-05EAS 【コントローラー)RFP05CA【VP-Pモニター】VPP5Aアルバック Ulvac
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