解析用マニュアルプローバー SE-6003 (4c0068) 中古計測器

機材名称	解析用マニュアルプローバー
型番	SE-6003
メーカー	ASTRODESIGN アストロデザイン
商品コード	4c0068
販売価格	お問合せください。

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　特長/仕様

ステージ移動量　：　X200mm、Y200mm
サブステージ移動量：　X13mm、Y13mm
θ調整：　180°
Z移動量　：　0~25mm（UP/DOWNストローク400um）
チャックサイズ　：　標準チャック　～8インチ（φ200mm）　、ホットチャック　～8インチ（φ200mm）
ウェハ保持方式　：　真空吸着方式
ホットチャック温度範囲　：　～最高300度
プローバー外寸法　：　約W500×D600×H650mm
重量　：　約60㎏（シールドボックス防振台込み約250㎏）
電源　：　AC100V、50/60Hz
ASTRODESIGN アストロデザイン

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