加熱一体型リワークシステム RM-2500 (4c0005)
・対応基板サイズ : 40×40㎜~460×370㎜(2kg以下) ・デバイスサイズ : 10~50㎜(20g以下) ・温度制御部 1)上部スポットヒーター : 1000W 2)下部スポットヒーター : 1000W 3)下部エリアヒーター : 2000W 4)制御方式 : 独立PID制御
・位置決め 1)ステージ : XYZθ手動操作による位置決め 2)カメラ : カラーCCDカメラ 3)照 明 : 上部;白色LED、下部;赤色LED
・寸法・重量 : W780×D640×H830㎜・約65kg ・供給エアー圧源 : 0.5MPa(200L/min以上) ・電源電圧 : 1φ AC200V/220V 50/60Hz ・消費電力 : 4kVAオンテック
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