薄膜硬度計 ナノインデンター TriboUbi (3U7076)
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圧子低荷重バーコビッチ ~10mN 高荷重バーコビッチ ~1,000mN 高荷重コニカル 先端半径5μm、開き角60° プッシュアウト 高荷重 測定 モード 荷重制御、変位制御 複合弾性率・硬さ 低荷重モード:~5μm 高荷重モード:~80μm 動的粘弾性 低荷重モード、0.1~300Hz ISO14577-1 低荷重モード 観察 光学顕微鏡(OM) 48~3,000倍 AFM(低荷重モードのみ) コンタクトモード、最大走査60μm ステージ 自動稼動領域 50×100×50(z)mm 試料サイズ 同上 ステップ分解能 50nm(x、y)HYSITRON
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