マスフローコントローラ(セット) SEF-22A (3U6267)
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電源:PAC-1JA 入力電源:AC90-132V 50/60Hz 熱式質量流量センサ ガス種:N2 標準流量レンジ:200L/min 流量測定範囲:フルスケールの10~100% ガス取合い:R1/2(PT1/2オネジ)堀場製作所 HORIBA STEC
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