ウエハ抵抗形状測定機 RPW-1000M (3U6014)
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対象ウェーハ SiC単結晶ウェーハ 直径Φ100mm/Φ125mm/Φ150mm 厚み200~300μm 計測位置:厚さ/形状測定(レシピによる設定)LEOコベルコ科研
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