マスフローコントローラー(SEC)用電源 PAC-3HS (3U5339)
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AC電源 AC100/115V 20VA 50/50Hz SEC用電源 +15V±0.5V 450mA -15V±0.5V 450mA DPM用電源 +5V±0.25V 100mA×3ライン 外部出力 DC0~5V 5mA MAX 3ライン 質量 約1.7Kg 外寸 W120 D78 H120エステック
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