レジスト剥離洗浄装置 MSR-360U (3U4948)
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ワーク表面を弱UV照射(UV殺菌灯) +苛性ソーダ+純水リンスによる表面レジスト 剥離装置 ワークサイズ:φ200 スピン部:カップ径φ360 50~3000rpm 入力:AC100V 50/60Hz 15kVAアクセス
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