イオンクリーナー JIC410(3f2402)
JIC-410イオンクリーナは透過電子顕微鏡の試料をグロー放電中に保持し、物理・化学反応を利用して試料上に付着した炭化水素系汚染物を除去する装置です。電子顕微鏡内で電子線を試料に照射した際の、炭化水素系汚染物の収束による試料汚染(コンタミネーション)を発生させないようにします。
・放電方式:水平電極型 ・使用圧力:1から100Pa ・ターゲット:カーボン ・真空チャンバー ・内径118mm×高さ37mm ・10L/min ※詳しくは、お問合せください。 日本電子 JEOL
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