低域微振動計(3ch) VM-81(3a0983)
半導体、精密器機、光学機器関連産業等では、製品の細密化にともない製造.研究開発地設に徹小振動環境が求められています。 例えば光学系を利用した精密器では精密物持のためには、変位振動で数ミクロン以下の、振動環境が必要とされ、高集債度化が進む半導体製造工程では、さらに一桁小さな長微小振動環境が必要になることが予想されます。
・振動数範囲:0.3-100Hz(±10%・鉛直方向) 0.3-30Hz(±10%・水平方向) ・加速度範囲:0.004-200Gal ※詳しくは、お問合せください。 RION リオン
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