機能(カタログより)
・大気圧から5×10-2Pa までの広領域の測定が可能なピラニ真空計です。
・さらにこの真空計は従来のコントローラ（センサユニット）から操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込み、「コストの低減」や｢省スペース化｣を可能としました。
・広領域測定：大気圧から5×10-2Paまでの広領域の測定が可能
・耐衝撃性の向上：耐衝撃性に富んだ設計構造（特許出願中）
・大気圧の精度が抜群：真空計の取付姿勢によらず精度が±20％以内（特許第4878289号）
・フィラメント材質・白金（Pt：フィラメント材には耐食性に富んだ白金を採用
・視認性の向上：異常を確認できるLEDを搭載
・ワンタッチ調整が可能：大気圧調整ならびにゼロ点調整がワンタッチで可能
・メンテナンス性：測定子の交換が容易
・適用測定子の拡充：NW16/25仕様に加え、φ15/18仕様、コンフラットフランジ
・仕様、テーパネジR1/8仕様をラインナップに追加
・測定値出力信号：圧力は0 から 10VのLog出力の標準装備
・制御出力信号：セットポイント2点の出力可能（SW1-1）
・シリアル通信仕様：RS-232C/RS-485通信が可能（SW1-2）
仕様(カタログより)
・ピラニ真空計
・3レンジ切換
・2ch
・0から10V
・測定子コード4m×2付
※別途ゲージポートφ18(WP01使用時)の準備が必要、または、PT3/8メネジ=Rc3/8(WP03使用時)の準備が必要
※詳しくは、お問合せください。
アルバック Ulvac
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